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半導体製造ツール「Centura Sculpta」、中国にさらなる遅れをもたらす
米アプライド マテリアルズ、先端ノードチップ製造のコストを大幅に削減するパターン形成の新機軸を発表 Scott Foster Asia Times 2023年3月10日 米国のエンジニアリング会社アプライド・マテリアルズの新しいパターン形成ツールは、中国が最先端の半導体製造技術に追いつくことがいかに難しいかを示している。2月28日に発表されたCentura Sculptaは、最先端のプロセスノードで集積回路を製造するために使用されるEUV（極端紫外線）リソグラフィーの工程数を減らし、複雑さとコストの両方を大幅に削減することを可能にするものである。米国の制裁措置により、中国へのEUVリソグラフィ…
